太陽能硅片檢測顯微鏡DJM-300C

簡要描述：DJM-300系列太陽能硅片檢測顯微鏡，選用優(yōu)質(zhì)的光學(xué)元件，配有超大視場目鏡、落射照明器、平場長工作距離明暗場物鏡，是針對半導(dǎo)體晶圓檢測、太陽能硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的，作為高級工業(yè)金相顯微鏡使用?？?/p>

產(chǎn)品型號：DJM-300C
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更新時間：2024-05-17
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一、DJM-300C太陽能硅片檢測顯微鏡的特點和用途:
DJM-300系列太陽能硅片檢測顯微鏡，選用優(yōu)質(zhì)的光學(xué)元件，配有超大視場目鏡、落射照明器、平場長工作距離明暗場物鏡，是針對半導(dǎo)體晶圓檢測、太陽能硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的，作為高級工業(yè)金相顯微鏡使用。可進行明暗場觀察、落射偏光、廣泛用于工廠、研究機構(gòu)、高等院校對太陽能電池硅片、半導(dǎo)體晶圓檢測、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。系統(tǒng)配置了優(yōu)質(zhì)無限遠光路系統(tǒng)、三目透反射顯微鏡DJM-300C、500萬高清晰數(shù)字?jǐn)z像頭及圖像測量管理軟件，可對太陽能電池板圖像進行檢查、拍照、測量、編輯和保存輸出等多種操作。是太陽能電池硅片檢查的理想儀器。

性能特點：

1、采用了較先進的光學(xué)顯微鏡與現(xiàn)代成像分析融為一體的圖像測量技術(shù)。

2、可對太陽能電池硅片進行檢查、拍照、測量、保存、輸出等多種操作。

3、系統(tǒng)配置了優(yōu)質(zhì)無限遠光路系統(tǒng)、大尺寸工作臺的三目透反射顯微鏡。

4、可以測量太陽能電池片裂紋長度，崩邊長度角度，印刷位移角度偏差。

5、可以測量主、副柵線，背電極的寬度、均勻度、柵線間距離及副柵線到電池邊的距離，柵線、斷線長度，斷線缺損和變色的面積。

6、可以檢查太陽能電池表面顏色色差、絨面色斑亮斑，裂紋，崩邊，掉角缺口，印刷偏移主副柵線、背電極的斷線，缺損，扭曲，變色等現(xiàn)象。

7、可對雜質(zhì)、殘留物成分進行分析。雜質(zhì)包括: 顆粒、有機雜質(zhì)、無機雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等。

三、DJM-300C太陽能硅片檢測顯微鏡的參數(shù)及配置：

名稱	參數(shù)規(guī)格
觀察鏡筒	鉸鏈?zhǔn)饺坑^察筒，30度傾斜，100%通光攝影。瞳距調(diào)節(jié)范圍：50-75mm,視度可調(diào)
目鏡	大視野目鏡WF10X(Ф22mm)
	大視野目鏡WF15X(Ф16mm) （選購）
	大視野目鏡WF20X(Ф12mm) （選購）
	WF10X(Ф22mm)大視野分劃目鏡（0.10mm/格）
無限遠長工作距離平場消色差物鏡	明視場/暗視場金相物鏡	PL L40X/0.60 BD 工作距離：3.0 mm
	微分干涉物鏡(DIC)	LMPlan5X/0.12 DIC 工作距離：18.2 mm
		LMPlan10X/0.25DIC 工作距離：20.2 mm
		LMPlan20X/0.35DIC 工作距離：6.0mm
調(diào)焦系統(tǒng)	粗微動同軸調(diào)焦機構(gòu)，微動格值:2μm，左調(diào)焦帶鎖緊裝置，右調(diào)焦帶限位裝置
載物臺	雙層機械式移動載物臺，外形尺寸：210mmX140mm，移動范圍75mmX50mm.
載物板	透光玻璃載物板，大?。?/span>97*76mm
轉(zhuǎn)換器	五孔內(nèi)彎式物鏡轉(zhuǎn)換器(滾珠內(nèi)定位)
偏光裝置	插入式起偏、檢偏裝置，可360度旋轉(zhuǎn)檢偏鏡，起偏和檢偏均可移出光路
DIC調(diào)節(jié)系統(tǒng)	適用于 LMPlan5X/LMPlan10X/LMPlan20X DIC物鏡
暗場裝置	推拉式暗場觀察拉桿，快速明視場暗視場觀察轉(zhuǎn)換
落射照明系統(tǒng)	12V50W鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào)
	落射式柯勒照明系統(tǒng)，內(nèi)置視場光欄，孔徑光欄調(diào)節(jié)
	可拆卸式燈箱，雙引腳插入式燈座，燈箱外有燈絲位置移動旋鈕
	轉(zhuǎn)盤式藍、黃、綠、磨砂濾色片組
透射照明系統(tǒng)	12V30W 鹵素?zé)?亮度可調(diào)
	阿貝聚光鏡NA.1.25，可調(diào)孔徑光欄，中心可調(diào)，可上下升降
	集光器：可調(diào)視場光欄
	藍色和磨砂玻璃濾色片
電腦攝像系統(tǒng)	CK-500彩色攝像機: 分辨率：2560×1920，功耗小，連接簡單：USB接口，圖像質(zhì)量好 ,色彩還原性好 ,圖像穩(wěn)定，所有攝像機均經(jīng)過長時間測試 ,體積小，安裝方便，采集方式:連續(xù)采集,圖像大小可調(diào),增益調(diào)節(jié),曝光時間調(diào)整,增益調(diào)。

四、DJM-300C太陽能硅片檢測顯微鏡系統(tǒng)的組成 ：

1、微分干涉顯微鏡　　 2、攝像機接口

3、彩色數(shù)字?jǐn)z像機CK-500 4、計算機（選購）

五、儀器選購件：

1、無限遠長距平場消色差明暗場物鏡： PLL50X； PLL60X ；PLL80X；PL100X

2、攝影接口：0.5X攝像接口

3、攝像機： CK-1600像素攝像機，進口CCD芯片攝像系統(tǒng)

4、數(shù)碼相機拍照系統(tǒng)：包含數(shù)碼相機及專業(yè)相機接口

5、金相分析軟件DM-3000

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